TY  - BOOK
AU  - MADOU , J. MARC  
TI  - FUNDAMENTALS OF MICROFABRICATION  
T2  - N  
U1  - 621.9/MAD   
PY  - 0000///
CY  - C.R.C.PRESS, 2002.
PB  - 
N1  - B.TECH
ER  -